全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機在杭“出爐”
2025-11-06 04:50:38 來(lái)源：四海皆兄弟網(wǎng)作者：百科 點(diǎn)擊:954次
來(lái)源：財聯(lián)社
財聯(lián)社8月14日電，出爐據杭州日報，全國近日，首臺商業(yè)作為基地首批簽約孵化項目之一，國產(chǎn)光刻全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機“羲之”已進(jìn)入應用測試，電束其精度比肩國際主流設備，機杭標志著(zhù)量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。出爐在測試現場(chǎng)，全國浙大余杭量子研究院相關(guān)團隊緊張忙碌著(zhù)，首臺商業(yè)一臺模樣酷似大型鋼柜的國產(chǎn)光刻機器正在做應用測試，電子顯示屏上不斷閃爍著(zhù)實(shí)時(shí)參數。電束“這不是機杭普通的機器，而是出爐一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團隊負責人告訴記者，全國依托省重點(diǎn)實(shí)驗室，首臺商業(yè)這臺研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機“羲之”已正式投入市場(chǎng)。
“羲之”取名自書(shū)法家王羲之，“只不過(guò)我們的‘毛筆’是電子束，在芯片上刻寫(xiě)電路?！毖邪l(fā)團隊相關(guān)負責人介紹，這臺設備專(zhuān)攻量子芯片、新型半導體研發(fā)的核心環(huán)節，它通過(guò)高能電子束在硅基上“手寫(xiě)”電路，精度達到0.6nm，線(xiàn)寬8nm，可靈活修改設計無(wú)須掩膜版，如同用納米級毛筆在芯片上精準作畫(huà)，特別適合芯片研發(fā)初期的反復調試。
作者:焦點(diǎn)
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